光刻机供应链

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1.美埃科技:公司为上海微电子装备(集团)股份有限公司开发国内首台28纳米光刻设备工艺制程所需的机台内国际最高洁净等级标准(ISO Cl­a­ss 1级)洁净环境提供EFU (超薄型设备端自带风机过滤机组)及UL­PA (超高效过滤器)等产品，亦已验收合格，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。
2.同飞股份：上海微电子为公司客户
3.颀中科技：针对部分设备公司已采用国产替代，并与国内优质厂商，如上海微电子、华峰测控等展开合作
4.茂莱光学：公司已与上海微电子达成长期战略合作伙伴关系。
5.苏大维格：公司向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件
6.海立股份：公司为上海微电子装备集团的相关设备提供冷却系统配套，已实现供货。公司多年来一 直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件-光场匀化器 (招股书中 “光场匀化器一一光刻应用”)，供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。同时，公司与国内在这领域的研发单位有广泛合作，公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。同时也为中国科学院、上海微电子装备(集团)股份有限公司
7.炬光科技：美国科磊半导体等行业知名半导体集成电路设备科研和生产机构提供相关产品。拟收购SMO，主要从事光纤耦合、激光准直、光束匀化、光束整形等折射和衍射精密微光学元器件的研发、生产和销售，其产品广泛应用于数据通信、汽车照明投影、半导体制程、生命科学等领域。光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的Adv an­T­o­rr品牌以及气体产品的N an­o­P­u­re品牌均可以应用到
8.新莱应材：光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。
9.新莱应材：产品真空阀门供货上海微电子。
10.富创精密：公司结构零部件(基板、冷却板等)多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备，主要客户有上海微电子、芯源微。
11.电科数字：子公司为半导体装备生产商上海微电子装备(集团) 股份有限公司提供了多种国产化计算和控制模块和系统
12.张江高科：持股上海微电子9%股份
13.上海电气：母公司持股上海微电子27%股份，为最大股东。