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两部门:聚焦集成电路核心计量技术支撑 重点攻克扁平化量值传递等技术难题

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发表于 2025-7-9 17:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

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市场监管总局、工业和信息化部印发《计量支撑产业新质生产力发展行动方案(2025—2030年)》,面向集成电路产业发展需求,聚焦集成电路核心计量技术支撑,重点攻克扁平化量值传递等技术难题,突破晶圆级缺陷颗粒计量测试、集成电路参数标准芯片化、3D等先进封装标准物质研制和12英寸晶圆级标准物质研制瓶颈,布局新型原子尺度计量装置、标准和方法创新,围绕几何量、光学、热学、电学等关键参量,突破晶圆温度、真空、气体检测和微振动等集成电路计量技术,研究集成电路关键工艺参数在线计量方法,开展计量测试评价,形成服务集成电路的计量体系。
发表于 2025-7-9 19:48 | 显示全部楼层
谢谢您的分享!
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发表于 2025-7-9 22:07 | 显示全部楼层
好好学习,天天向上!
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发表于 2025-7-10 08:53 | 显示全部楼层
感谢提供信息分享。
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