七星电子深硅刻蚀设备成功进入海外生产线

天山花开

近日， 由七星电子（002371）全资子公司北方微电子自主研发的8英寸深硅等离子刻蚀机HSE200L正式进入马来西亚SilTerra公司，为其提供 MEMS和Power Device等工艺制程的解决方案。SilTerra公司是国际领先的8英寸晶圆代工企业，为包括欧美在内的国际知名企业提供代工服务，长期排名世界前十。

北方微电子介绍，公司新一代深硅刻蚀机HSE200L以全新的设计理念来实现高深宽比刻蚀工艺，刻蚀速率快，工艺性能优异，设备多项关键指标达到或超过国际先进水平，全面满足MEMS领域刻蚀工艺要求。

此外，北方微电子称，2016年公司在集成电路、先进封装、半导体照明等多个领域的Etch、PVD和CVD设备等多款产品也已成功进驻海外。

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